设备厂家：Thermo Scientific
设备型号：Verios G4 UC （配备牛津能谱：ULTIM MAX 170）
功能简介：扫描电子显微镜依据电子与物质的相互作用，利用聚焦的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌。如纳米材料、材料断口、试样原始表面、试样厚度等。同时可以配备能谱仪等附件，在观察样品形貌的同时进行成分和元素分析，以及通过电子背散射衍射技术分析确定晶体结构、取向及相关信息。
主要技术指标：
1、同时装有二次电子和背散射电子探测器；
2、配有电制冷能谱仪系统（预计六月份可使用）；
3、二次电子分辨率在最佳工作距离时分辨率：0.6nm@15kV；1.2nm@0.2kV；
4、加速电压：350V~30kV；着陆电压：20V~30kV；
5、电子束流：0.8pA~100nA（连续可调）；
6、物镜光阑能自加热自清洁；
7、电子束减速模式：-50V~- 4 kV；
8、集成等离子清洗器，可清洗样品或样品舱
